| Mikrosensorik: Eine Einführung in Technologie Und Physikalische Wirkungsprinzipien Von Mikrosensoren 1996 Edition Contributor(s): Elbel, Thomas (Author) |
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ISBN: 3528033770 ISBN-13: 9783528033774 Publisher: Vieweg+teubner Verlag OUR PRICE: $42.74 Product Type: Paperback Language: German Published: October 1996 |
| Additional Information |
| BISAC Categories: - Technology & Engineering | Sensors |
| Dewey: 681.2 |
| Series: Studium Technik |
| Physical Information: 0.4" H x 6.69" W x 9.61" (0.68 lbs) 176 pages |
| Descriptions, Reviews, Etc. |
| Publisher Description: Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur L sung der grunds tzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Me gr en- wurde in den zur ckliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit v llig neuen Anwendungsm glichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Z rich und aus einem Skript f r die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der me technischen Praxis und in der angewandten Forschung t tige Ingenieure k nnen das Buch zur Einarbei- tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verst ndnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. F r Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die f r die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper Form dargestellt. F r ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der f r alle Mikrosensoren gemeinsamen techno- logischen Grundlagen werden in den Kapiteln 3 bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be- schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der Art der Me gr e. |